
TA2纯钛圆靶的性质:
产品名称:钛及钛合金靶
- 产品牌号:TAO、 TAI、 TA2、TA3、 TA9、TA10、 TC4、 GR2、 RG5等
- 产品材质:纯钛、钛合金
- 产品状态:退火(M)
- 产品用途:治金、电子、医疗、化工
- 产品应用:半导体分离、薄颜涂层材料、表面涂层、玻璃涂层工业
- 产品第规:可按需定制
- 产品标准:GB/T16598-96 ASTMB381-98 GLB AMS
产品性能:纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。
钛靶材的杂质含量要求
靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。