
钛合金管靶的性质:
产品名称:钛及钛合金靶
- 产品牌号:TAO、 TAI、 TA2、TA3、 TA9、TA10、 TC4、 GR2、 RG5等
- 产品材质:纯钛、钛合金
- 产品状态:退火(M)
- 产品用途:治金、电子、医疗、化工
- 产品应用:半导体分离、薄颜涂层材料、表面涂层、玻璃涂层工业
- 产品第规:可按需定制
- 产品标准:GB/T16598-96 ASTMB381-98 GLB AMS
- 产品特性:耐酸碱腐蚀,耐海水腐
钛靶材的密度特性
为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。