钛靶材

TA0钛靶材的性质：

• 产品名称：钛及钛合金靶
• 产品牌号：TAO、 TAI、 TA2、TA3、 TA9、TA10、 TC4、 GR2、 RG5等
• 产品材质：纯钛、钛合金
• 产品状态：退火(M)
• 产品用途：治金、电子、医疗、化工
• 产品应用：半导体分离、薄颜涂层材料、表面涂层、玻璃涂层工业
• 产品第规：可按需定制
• 产品标准：GB/T16598-96 ASTMB381-98 GLB AMS

钛靶材对纯度的要求

纯度是靶材的主要性能指标之一，因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中，对靶材的纯度要求也不尽相同。例如，随着微电子行业的迅速发展，硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um，以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求，而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。

亿沐鑫公司产品分类：钛棒、钛管、钛板、钛阳极、钛箔钛带、钛法兰、钛丝、钛靶材、钛设备、钛饼钛环、钛标准件、钛加工件