钛靶材

纯钛板靶的性质：

• 产品名称：钛及钛合金板靶

• 产品牌号：TAO、 TAI、 TA2、TA3、 TA9、TA10、 TC4、 GR2、 RG5等
• 产品材质：纯钛、钛合金
• 产品状态：退火(M)
• 产品用途：治金、电子、医疗、化工
• 产品应用：半导体分离、薄颜涂层材料、表面涂层、玻璃涂层工业
• 产品第规：可按需定制

• 产品标准：GB/T16598-96 ASTMB381-98 GLB AMS
  

       

纯钛靶晶粒尺寸及晶粒尺寸分布：

•  通常靶材为多晶结构，晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材，晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快；而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。